为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求,金属材料应该满足()。

A . 低电阻率 B . 易与p或n型硅形成欧姆接触 C . 可与硅或二氧化硅反应 D . 易于光刻 E . 便于进行键合

时间:2022-10-03 19:41:25 所属题库:集成电路制造工艺员(三级)题库

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