离子注入表面改性
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离子注入中静电扫描的主要缺点是离子束不能垂直轰击硅片，会导致光刻材料的阴影效应，阻碍离子束的注入。
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离子注入中高能量意味着注入硅片更深处，低能量则用于超浅结注入。
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表面改性
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表面改性的基本方法主要有哪些？
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目前我公司的改性沥青阻根卷材有：（）、改性沥青复合铜胎基耐根穿刺防水卷材、（）三种，按其原理分为铜胎阻根和化学阻根两种，其原理是利用了铜离子具有杀根的作用。
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离子注入的缺点之一是注入设备的复杂性。
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表面改性剂特点：无机改性，（），复合改性。
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离子注入物质必须以带电粒子束或离子束的形式存在。
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表面改性是利用固体表面的（）特性，通过各种表面处理改变固体表面的结构和性质，以适合各种预期的要求。
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适用于石英粉或其他二氧化硅矿粉表面改性的改性剂有（）。
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阳离子染料染改性涤纶（）
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表面改性化工艺技术分为有机，无机和复合改性三类。
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适用于石灰岩矿粉（碳酸钙）表面改性的改性剂有（）。
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粒子束注入，离子掺杂可以对材料进行改性
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粘土的离子可交换性是这类矿物的重要性能指标，也为其进一步改性提供了有利条件。具体而言，粘土的离子交换性能主要是指
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8、下列材料改性方法中属于表面工程的有：
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表面处理是通过______________作用，将表面改性剂______________于被改性粒子的表面，形成表面改性层，从而改善_______________
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非金属矿粉体材料改性常利用物理、化学或机械的方法对粉体颗粒表面进行处理。化学改性方法包括（)、表面化学包覆、插层改性等。
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目前公司的改性沥青阻根卷材有（）、改性沥青复合铜胎基耐根穿刺防水卷材、（）三种，按其原理分为铜胎阻根和化学阻根两种，其原理是利用了铜离子具有杀根的作用
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离子注入掺杂的表面浓度不受固溶度限制，既可做浅结低浓度，也可做深结高浓度（）
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离子注入可以精确的控制杂质的分布,在表面杂质浓度最高,越远离表面浓度越低（）
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72、离子注入机应有良好的射线防护设施，在距机器外表面50mm处检测射线剂量应小于（)mR/h。
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离子注入金属后能显著地提高其表面硬度、耐磨性、抗蚀性等。其强化的机理主要有损伤强化、固溶强化、喷丸强化和增强氧化膜、提高润滑性。（)