对于非晶靶,离子注入的射程分布取决于()。

A . 入射离子的能量 B . 入射离子的质量 C . 入射离子的原子序数 D . 靶原子的质量、原子序数、原子密度 E . 注入离子的总剂量

时间:2022-09-15 20:10:16 所属题库:集成电路制造工艺员(三级)题库

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