PECVD(等离子增强CVD)
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“PECVD”中文表述是()。
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缩略语PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名称分别是()、()、高密度等离子体化学气相淀积和()。
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急性脑血管病(CVD)根据病理性质如何分类?
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CVD2码又叫卡片记录号,是三位数的阿拉伯数字,位于借记卡卡面印刷信息第三行。目前在()后可能会使用到CVD2码。
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CVD为化学气相沉积技术的简称。
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能使唾液淀粉酶活性增强的离子是()。
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离子交换器进水盐类浓度越大,则离子的交换作用增强()。
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关于CVD涂层,()描述是不正确的。
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LPCVD(低压CVD)
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关于CVD病因表述不正确的是()
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脑血管疾病(CVD)
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能使唾液淀粉酶活性增强的离子是()
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APCVD、LPCVD、PECVD和HDPCVD中文名称分别是?
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为了保持优良的结晶性能,提高制膜速度,除了要采用();()投入外,多数也采用导入电源频率为60MHz---100MHz的VHF带等离子体的CVD法。
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薄膜光伏电池制备工艺中,等离子增强化学气相沉淀法的英文缩写是()
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LPCVD紧随PECVD的发展而发展。由660℃降为450℃,采用增强的等离子体,增加淀积能量,即低压和低温。
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PECVD的的环境湿度要求40-60% 。()
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23、PECVD中,等离子体的激励方式有 。
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PECVD所使用的气体有硅烷,氨气,氮气()
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管式PECVD高频报警发生原因?
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根据激发源的不同,非晶硅薄膜的PECVD又可分为直流DC-PECVD、射频RF-PECVD、超高频VHF-PECVD及微波(MW-PECVD)等。以上方法中沉积速率最高的是()。
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