在半导体工艺中,如果淀积的薄膜不是连续的,存在一些空隙,则()。

A . 使薄膜的介电常数变大 B . 可能引入杂质 C . 可能使薄膜层间短路 D . 使薄膜介电常数变小 E . 可能使薄膜厚度增加

时间:2022-09-30 11:34:40 所属题库:集成电路制造工艺员(三级)题库

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