化学机械平坦化，简称CMP，它是一种表面全局平坦化技术。
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平滑是一种平坦化类型，它只能使台阶角度圆滑和侧壁倾斜，但高度没有显著变化。
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高速工具钢简称高速钢，它是一种含（）等合金元素较多的工具钢。
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反刻是一种传统的平坦化技术，它能够实现全局平坦化。
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表面起伏的硅片进行平坦化处理，主要采用将低处填平的方法。
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在救生艇用柴油机上经常使用一种稠化机油，它是一种（）。
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宫颈表面糜烂平坦，占宫颈面积1/3～2/3（）
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对黑板的卫生要求主要是表面平坦无反光，写字清楚。
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检查机械发动机是，应把机械停放在平坦的地方，在（）进行检查。
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磺甲基酚醛树脂简称磺化酚醛树脂，是一种有效的抗高温降滤失剂。
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CMP是一种表面（）的技术，它通过硅片和一个抛光头之间的相对运动来平坦化硅片表面，在硅片和抛光头之间有（），并同时施加（）。
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硅片平坦化的四种类型分别是（）、部分平坦化、（）和（）。
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全站型电子速测仪简称全站仪，它是一种可以同时进行（）和数据处理，由机械、光学、电子元件组合而成的测量仪器。
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UML是一种标准的图形化建模语言，它是（）分析与设计的一种标准表示。
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起伏噪声在时域、频域均普遍存在，且不可避免，是一种高斯噪声，且在相当宽的频率范围内具有平坦的功率谱密度，起伏噪声常被表述成（）。
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PLC是可编程序控制器的简称，它是一种以微处理器为核心器件的（）控制装置。
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终点检测是指（）的一种检测到平坦化工艺把材料磨到一个正确厚度的能力。两种最常用的原位终点检测技术是（）和（）。
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旋涂膜层是一种传统的平坦化技术，在0.35μm及以上器件的制造中常普遍应用于平坦化和填充缝隙。
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电机电流终点检测不适合用作层间介质的化学机械平坦化。
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甲烷化触媒在＜100℃，时可生成羰基镍，它是一种毒性极高的物质。
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角膜全层混浊，呈乳白色光泽，表面平坦，此为（）。
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试样加工后，分析表面应平坦、光滑，表面不能被沾污、有孔、（）及（）。
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根据广义相对论的设想,引力是时空不平坦这一事实的结果,也是一种力。()
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下列哪些工艺可用于IMD的平坦化（）
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氧化硅的化学机械抛光是集成电路制造中最先进和最广泛的平坦化工艺，主要应用于（)方面。
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