下列哪些因素会影响临界注入量的大小:()。

A . 注入离子的质量 B . 靶的种类 C . 注入温度 D . 注入速度 E . 注入剂量

时间:2022-09-29 17:51:05 所属题库:集成电路制造工艺员(三级)题库

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