H车间质量监督部门负责测量芯片镀膜厚度,其生产规格是500±50μ(微米)。测厚仪在05年2月10日

H车间质量监督部门负责测量芯片镀膜厚度,其生产规格是500±50μ(微米)。测厚仪在05年2月10日曾由上级主管部门进行过校准。为了监测此测厚系统的性能,从3月1日开始,每天早晨正式工作前,先对一个厚度500μ的标准片连续测量5次,坚持检测30天,记录测量的偏差值,共得到150个数据。从数据上看,这30天的状况是受控的,所有的点都落入控制限范围内。计算后得知,这150个偏差值数据的平均值X=0.94μ,标准差为S=1.42μ,经单样本T检验,未发现偏差值之均值与0有显着差异。总之,整个测量系统的准确性(Accuracy)、精确性(Precision)及稳定性(Stability)都是合格的。这里“此测量系统的准确性(Accuracy)是合格的”指的是:() A.这30天所有的数据点都落入控制限范围内。 B.X=0.94μ这个结果与公差限范围±50μ相比,小于10%,满足%GR&R(P/TV)要求。 C.S=1.42μ这个结果与公差限范围±50μ相比,小于10%,满足P/T要求。 D.对于150个数据进行单样本T检验,未发现偏差值之均值与0有显着差异。

时间:2023-12-20 10:35:10

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