欲在一批小尺寸的基板上用点蒸发源蒸发法沉积厚度一致的薄膜,基板相对于蒸发源应该怎样放置?

A.与蒸发源平行的平面上 B.以蒸发源为球心的球面(圆周)上 C.与蒸发源垂直的平面上 D.以蒸发源为球心的球半径上

时间:2024-04-29 14:31:57

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