3、微晶硅薄膜的热丝化学气相沉积方法中，钨丝和钽丝是最常用的两种热丝材料。

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  A . 正确 B . 错误

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  A . 等于 B . 低于 C . 高于 D . 大大高于

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  A . A、生物 B . B、生物化学 C . C、动物化学 D . D、重力

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  A . 正确 B . 错误

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  A . 正确 B . 错误

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  A . LPCVD B . PECVD C . CVD D . PVD

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  A . PCVD B . CVD C . MCVD D . AVD

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  A . 1～3 B . 2～5 C . 3～7 D . 4～9

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  A . A.PVD B . B.LPVCD C . C.PEVCD D . D.LVCD

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  A．DC-PECVD B．RF-PECVD C．VHF-PECVD D．MW-PECVD

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