影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面()。

A . 等离子体蚀刻系统的形态 B . 等离子体蚀刻的参数 C . 光刻胶 D . 待蚀刻薄膜的淀积参数条件

时间:2022-10-07 23:46:36 所属题库:电化学工程题库

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