灰化淀积层

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  A . 4～6h B . 50min～2h C . 10～40min D . 5～10min

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  A . 使薄膜的介电常数变大 B . 可能引入杂质 C . 可能使薄膜层间短路 D . 使薄膜介电常数变小 E . 可能使薄膜厚度增加

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  A . 正确 B . 错误

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  A . 正确 B . 错误

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  A . 均匀性 B . 表面平整度 C . 自由应力 D . 纯净度 E . 电容

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