在深紫外曝光中,需要使用CA光刻胶,它的优点在于()。

A . CA光刻胶对深紫外光吸收小 B . CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化 C . CA光刻胶在显影液中的可溶性强 D . 有较高的光敏度 E . 有较高的对比度

时间:2022-11-08 16:26:10 所属题库:集成电路制造工艺员(三级)题库

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