离子注入的主要气体源中,剧毒的有()。

A . 砷化氢 B . 二硼化氢 C . 四氟化硅 D . 三氟化磷 E . 五氟化磷

时间:2022-11-03 14:22:44 所属题库:集成电路制造工艺员(三级)题库

相似题目