离子注入中静电扫描的主要缺点是离子束不能垂直轰击硅片,会导致光刻材料的阴影效应,阻碍离子束的注入。

A . 正确 B . 错误

时间:2022-08-30 07:04:11 所属题库:集成电路工艺原理题库

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