光致抗蚀剂在曝光前对某些溶剂是可溶的,曝光后硬化成不可溶解的物质,这一类抗蚀剂称为负性光致抗蚀剂,由此组成的光刻胶称为负性胶。()

A . 正确 B . 错误

时间:2022-10-30 11:33:21 所属题库:半导体芯片制造中级工题库

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