二氧化硅膜的质量要求有()。

A . 薄膜表面无斑点 B . 薄膜中的带电离子含量符合要求 C . 薄膜表面无针孔 D . 薄膜的厚度达到规定指标 E . 薄膜厚度均匀,结构致密

时间:2022-11-10 18:57:49 所属题库:集成电路制造工艺员(三级)题库

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