下面选项中不属于化学机械抛光CMP工艺缺点的选项是?()

A.影响平坦化质量的工艺因素很多且不易控制 B.CMP进行平坦化的同时也会引入新的缺陷 C.需要配套的设备、材料、工艺控制技术,这是一个需要开发、提高的系统工程 D.设备、技术、耗材比较便宜,维护也较为简单

时间:2024-03-16 10:20:33

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