CMP技术所采用的设备有抛光机、后CMP清洗设备、抛光终点检测及工艺控制设备、废物处理和检测设备等,其中()是最重要的设备。

A.后CMP清洗设备 B.抛光机 C.抛光终点检测及工艺控制设备 D.废物处理和检测设备

时间:2024-03-16 10:07:39

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