采用单晶硅的压阻式压力变送器采用单晶硅片为弹性元件，在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺，在单晶硅的特定方向扩散一组（）电阻，并将电阻接成桥路。
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压阻式压力传感器是利用（）的原理（半导体材料受压时电阻车发生变化）直接将压力转换为电信号
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单晶硅谐振式压力(差压)变送器在单晶硅芯片上采用微电子机械加工技术,在其表面的中心和边缘制作成两个形状、大小完全一致的H形状的谐振梁,分别将压力或差压信号转换为(),送到脉冲计数器,再将两频率之差直接送到微处理器进行数据处理,将D/A换转后输出4~20mADc信号,两频率之差对应不同的压力信号.
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将硅单晶棒制成硅片的过程包括哪些工艺？
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单晶硅刻蚀一般采用（）做掩蔽层，以氟化氢为主要的刻蚀剂，氧气为侧壁钝化作用的媒介物。
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压阻式压力变送器是基于热电效应设计的。（）
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常用的EJA压力变送器就属于单晶硅谐振式压力变送器.
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压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成，采用（）为弹性元件。
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压阻式压力传感器是利用单晶硅的电阻效应二构成，采用（）为弹性元件
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单晶硅谐振式压力(差压)变送器的核心部件是().
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压阻式压力传感器具有（）的特点。
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举高消防车主要使用的压力传感器为压阻式压力传感器。
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单晶硅太阳能电池组件的生产流程：（）硅棒（）（）太阳电池组件；多晶硅太阳能电池组件的生产流程：（）硅碇（）硅片太阳电池太阳电池组件。
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压阻式微传感器是在单晶半导体膜片适当部位扩散形成力敏电阻而构成的。
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压阻式传感器是根据半导体材料的压阻效应在半导体材料的基片上经扩散电阻而制成的器件。
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制造电子器件的基本半导体材料是圆形单晶薄片，称为硅片或（）。在硅片制造厂，由硅片生产的半导体产品，又被称为（）或（）。
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应变片式和压阻式压力计各采用什么测压元件？
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将圆柱形的单晶硅锭制备成硅片需要哪些工艺流程？
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以下不属于压阻式压力传感器的主要优点（）。
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压力传感器为非弹簧管组成的快速测压元件，如（）压阻式、压电式等压力传感器
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散硅式差压变送器的检测元件采用打散硅压阻传感器，输入差压AP作用于测量部分的扩散硅压阻片上，引起扩散电阻（应变片)阻值发生变化来测量差值。（)
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5cm≤直径≤15.24cm单晶硅片
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单晶组件EL测试时时常有黑芯片出现，黑芯片主要与硅片的杂质浓度和位错密度有（）
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8、采用扩散硅芯片作为敏感元件的传感器称为扩散硅型压力传感器，以测量压力和速度的气态压阻式传感器的应用最为普遍。 The sensor using diffused silicon chip as sensing element is called diffused silicon pressure sensor, of which the most common application is used for measuring pressure and velocity by gas piezoresistive sensor.
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扩散硅式差压变送器的检测元件采用扩散硅压阻传感器，结构分测量和放大转换两大部分。（)