在刻蚀()过程中假如我们在CF5的等离子体内加入适量的氧气,能够提高刻蚀的速率。

A . 铜 B . 铝 C . 金 D . 二氧化硅

时间:2022-10-25 00:08:33 所属题库:集成电路制造工艺员(三级)题库

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