与干法刻蚀相比,湿法腐蚀的好处在于对下层材料具有高的选择比,对器件不会带来等离子体损伤,并且设备简单。

A . 正确 B . 错误

时间:2022-09-26 16:17:58 所属题库:集成电路工艺原理题库

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